Het verkorten van de cyclustijden in de halfgeleiderverwerking ozonvrije IR versus geforceerde luchtkonvektie
Waarom wachten op warme lucht? IR-verwarming in halfgeleiderverwerking Als je al eens hebt gewerkt met de diepe verwerking van halfgeleiders, weet je...
Energiebesparende halfgeleiderverwarming
Waarom we zo geobsedeerd zijn door het testen van de isolatie van halfgeleiderverwarmers Hoe het zit: we testen elke enkele verwarmingsbuis die onze...
Veiligheidsafstand voor waferverwarming
Op de lithografieafdeling vormt die veiligheidsafstand rondom het verwarmde wafer geen ‘comfortzone’. Het gaat om een strikte grens voor het proces....