Diepe UV (DUV) resistentverhittingslamp
Op de afdeling voor lithografie leer je snel dat zelfs een klein verschil in de temperatuur van het proces ertoe kan leiden dat er problemen...
Verhittingsapparaat voor het lamineren van droge filmresisten
Op de lithografieafdeling zorgt de verwarmingsunit niet alleen voor warmte, maar bepaalt ook het thermische regime voor het hele fotorezystsysteem....