Как сохранить чистоту в помещении класса 100 Если вы сушите пластины с датчиками типа MEMS, то знаете, какова это проблема: один лишь крошечный кусочек пыли на пластине может привести к тому, что вся пластина станет бесполезной. Это очень раздражает. Проблема в том, что большинство стандартных нагревательных элементов фактически являются источниками частиц. Они излучают микроскопические частицы прямо там, где этого совсем не нужно. Мы решили эту проблему, используя инфракрасные лампы из высокочистого синтетического кварца. Они не испускают никаких частиц, не выбрасывают металлические загрязнения, и помогают поддерживать чистоту производственной линии. Почему важен кварц Мы используем специальные кварцевые оболочки, чтобы источник тепла не повреждал поверхность пластины. Обычное стекло не выдерживает таких температур – оно трескается или выделяет вредные органические соединения при нагревании. Наш кварц выдерживает высокие температуры без повреждений. К тому же инфракрасное излучение проходит сквозь жидкостную пленку на поверхности пластины и вызывает её испарение. Никакого физического контакта с пластиной. Это единственный способ сохранить целостность хрупких структур MEMS. Как правильно регулировать температуру Чтобы пластина высохла за несколько секунд, необходимо значительная мощность. Мы настраиваем мощность нагревательного элемента для достижения оптимальных условий для вашего типа пластин. Но есть нюанс: лампы с высокой мощностью очень сильно нагреваются с концов. Если не настроить систему охлаждения, это может привести к перегреву лампы или к деформации кварцевой оболочки. Это сложная задача. Как обслуживать лампы Мы спроектировали эти лампы так, чтобы их можно было быстро заменять. Время простоя – это большая проблема, поэтому мы сделали процесс замены максимально простым. Независимо от использования разъемов R7 или SK, лампы будут плотно закреплены. Это важно, потому что любое движение может привести к окислению контактных точек. Следите за уровнем нагрузки на лампу. Если она работает на 100% мощности, нити нагревателя со временем становятся тоньше. Я всегда советую следить за потоком тока. Как только ампераж начинает снижаться, пора менять лампу. Лучше делать это по своему графику, чем иметь проблемы с сгоревшей лампой и утечкой вакуума в камере сушки.