Расстояние безопасности при нагревании пластины
На участке литографии безопасное расстояние вокруг поверхности пластины при нагревании не является зоной комфорта – это граница, которую необходимо...
Нагреватель для сушки пластин МЭМС
Вернувшись к линии Сырой MEMS-вафель выходит из процесса очистки и ожидает. Следующая остановка — нанесение фоточувствительного покрытия, мягкая...
Светильник для сушки ваферов DNS (экран)
На литографическом этаже отклонение температуры на 1°C во время мягкой или жесткой сушки не является «небольшой ошибкой». Это приводит к снижению...