На этапе литографии даже небольшое изменение температуры в процессе сушки на полградуса может привести к изменению критических размеров изделия на несколько нанометров. Речь идет не просто о тепле – речь идет о точном контроле за процессом.
Стандартные лампы могут выделять озон; этот озон меняет свойства фоторезиста и влияет на количество частиц в воздухе. Мы используем инфракрасные лампы без озона, благодаря чему температурный режим остается стабильным, без каких-либо неожиданностей.
Что действительно важно Мы используем излучатели коротковолнового инфракрасного излучения с быстрой реакцией, что позволяет поддерживать стабильную работу ламп в течение нескольких секунд. На всей площади зоны сушки стабильность температуры составляет ±0,1°C, а повторяемость результатов при последовательных обработках остается высокой.
Кварцевые корпуса и материалы, используемые в чистых комнатах, предназначены для использования в условиях класса 1–100. При работе ламп не происходит выделения газов и отсутствуют частицы в воздухе. Интенсивность излучения настраивается в соответствии с характеристиками фоторезиста, а спектральный состав излучения соответствует кривой поглощения фоторезиста – это снижает тепловые задержки и эффекты на краях изделия.
Почему это важно для обработки фоторезиста Процесс мягкой сушки направлен на удаление растворителей и создание необходимого напряжения в слое фоторезиста. Процесс жесткой сушки помогает стабилизировать изображение перед процедурой эчитинга. Благодаря использованию инфракрасных ламп без озона можно точно контролировать ширину линий, уменьшать количество дефектов и снижать количество необходимых корректировок.
Система работает круглосуточно с стабильной производительностью. При этом потребление энергии меньше, чем при использовании конвективных методов, так как тепло передается непосредственно в слой фоторезиста, а не в整个 камеру. Это позволяет повысить производительность без снижения качества изделий. Продолжительность работы ламп позволяет использовать их в течение длительного времени с предсказуемыми интервалами технического обслуживания.
Практические аспекты Излучение ламп распространяется по прямой линии, поэтому геометрия установки должна обеспечивать совпадение луча с траекторией движения пластины. Для предотвращения попадания лишнего тепла на соседние оптические элементы используются отражающие поверхности.
После простоя оборудования требуется короткий период подогрева для достижения термодинамического равновесия. Необходимо учитывать этот период при планировании процедур сушки. Совместимость с существующим оборудованием очень проста, но необходимо убедиться в правильности механических расстояний и подключений к электроснабжению совместно с инженерами оборудования.