Bảo vệ an toàn khi sử dụng đèn sưởi IR trong các khu vực hóa chất
Khi sấy các tấm wafer trong nhà máy sản xuất bán dẫn, chúng ta thường phải tiếp xúc với những hóa chất có tính ổn định kém. Đó là một môi trường nguy hiểm. Nếu khí từ các hóa chất này gặp phải tia lửa hoặc bộ phận nào đó có nhiệt độ quá cao, thì có thể xảy ra vụ nổ. Đó là lý do tại sao chúng ta không chỉ đơn giản chế tạo đèn IR thông thường mà còn bọc chúng trong lớp vỏ bảo vệ để ngăn chặn nguy cơ nổ.
Xử lý khí thải
Hầu hết các đèn IR chỉ có các điện cực và dây dẫn được để lộ ra ngoài. Trong môi trường hóa chất, điều này thật là nguy hiểm. Chúng tôi sử dụng lớp vỏ bảo vệ chắc chắn cùng lớp kín bằng thạch anh và kim loại. Có thể coi đó như một “bộ giáp” bảo vệ các bộ phận có điện áp cao khỏi khí thải trong không khí. Ngay cả khi xảy ra rò rỉ hóa chất hoặc khí thải tích tụ, khí đó cũng không thể tiếp cận được các bộ phận có điện áp cao của đèn. Khí đó sẽ bị giữ lại bên ngoài.
Kiểm soát nhiệt độ
An toàn không chỉ liên quan đến việc tránh tia lửa mà còn liên quan đến nhiệt độ bề mặt. Không ai muốn vỏ đèn nóng đến mức gây ra hiện tượng cháy nổ do các hóa chất được sử dụng. Để khắc phục điều này, chúng tôi sử dụng các tấm phản xạ chất lượng cao. Chúng giúp chuyển nhiệt sang phía trước, tức là vào các tấm wafer, nhờ đó phần sau của đèn vẫn giữ được nhiệt độ thấp. Điều này giúp tránh việc hình thành các điểm nóng trên khung máy.
Tuy nhiên, dòng khí trong buồng sấy cũng cần được kiểm soát chặt chẽ. Nếu quạt thông gió ngừng hoạt động, nhiệt độ bên trong buồng sẽ tăng lên, và cuối cùng sẽ vượt quá khả năng chịu đựng của lớp vỏ bảo vệ. Vì vậy, hãy đảm bảo rằng quạt thông gió hoạt động ổn định.
Thực tế sử dụng
Chúng tôi chế tạo những chiếc đèn này dành cho những người phải bảo trì chúng. Bạn chắc chắn không muốn nhân viên kỹ thuật phải mất nửa ca làm việc để xử lý các dây dẫn phức tạp trong môi trường nguy hiểm. Các đầu nối của chúng tôi có thể được kết nối một cách dễ dàng. Hơn nữa, chúng còn có khả năng chống lại các chất ăn mòn, vì vậy chúng sẽ không bị hư hỏng khi tiếp xúc với các chất tẩy rửa. Việc sử dụng chúng sẽ giúp việc bảo trì trở nên dễ dàng hơn.
Tuy nhiên, cũng có một nhược điểm: do có lớp vỏ bảo vệ, những chiếc đèn này có kích thước lớn hơn so với những bóng đèn thông thường. Chúng chiếm nhiều không gian hơn. Hãy chắc chắn rằng bạn đã kiểm tra kỹ khoảng cách trong buồng sấy trước khi lắp đặt các thiết bị.