Ukončení noční můry z prasknutí lamp při zpracování waferů
Pokud jste pracovali v provozech s vysokou zátěží v oblasti výroby polovodičů, znáte ten pocit. Ten náhlý zvuk prasknutí lampy… Není to jen porouchaný prvek – je to skutečná katastrofa.
Když praskne kvartová trubice, na vaše wafty dopadají střepy skla a wolframové vlákna. Veškerý výrobek je zničen. Teď musíte strávit hodiny – nebo dokonce dny – čištěním komory, abyste se vrátili do normálního stavu. Je to opravdu otrava, kterou nikdo nechce zažít.
Proto jsme vyvinuli lampy s dvěma trubicemi pokrytými zlatem. Chtěli jsme tak definitivně vyřešit problém „sekundárního znečištění“.
Tajemství spočívá v samotné konstrukci lampy.
Ohřevový prvek je umístěn uvnitř druhé kvartové obálky. Můžete si to představit jako bezpečnostní síť. Pokud vnitřní trubice selže kvůli náhlému nárůstu napětí nebo tepelnému šoku, vnější trubice zachytí veškeré úlomky.
Špína zůstane uvnitř lampy. Vaše wafty zůstanou čisté. Můžete buď pokračovat v práci, nebo systém vypnout podle svých potřeb, bez nutnosti řešit chaotické situace spojené s čištěním.
Proč zlato?
Standardní kvartové lampy spotřebovávají velké množství energie – ta prostě zmizí ve vzduchu. Abychom to vyřešili, přidali jsme na vnější stranu tenkou zlatou vrstvu. Ta funguje jako zrcadlo – odráží infračervené záření zpět k cíli.
Díky tomu dosahujete mnohem vyšší teplotní hustoty na povrchu waferů, aniž byste museli zvyšovat výkon lampy. Je to prostě efektivnější.
Ale pozor: zlato je křehké. Nesmíte do něj používat agresivní chemikálie ani je čistit silnými prostředky. V takovém případě byste odstranili celou zlatou vrstvu a teplotní profil lampy by se zkazil. S nimi jednejte opatrně.
Jak je používat v reálném světě
Tyto lampy jsou navrženy pro vysoký výkon a vysokofrekvenční výstup. Když je připojíte do systému s vysokou zátěží, vznikne velké horko. Opravdu velké horko.
Z tohoto důvodu musíte pečlivě kontrolovat chladicí systémy. Pokud klesne průtok vzduchu, může zlatá vrstva způsobit přehřátí kvartové obálky, což zkrátí životnost lampy.
Abychom pomohli při rychlém ohřívání a chlazení, přidali jsme posílené konce lampy, aby uzávěry nefungovaly špatně. Jsou navrženy tak, aby nahradily většinu standardních ohřevových systémů – takže nemusíte celý systém přestavovat jen proto, abyste ho vylepšili.