جلوگیری از مشکلات ناشی از آلودگی ذرات در سیستمهای گرمایشی UHP در سیستمهای نیمههادی با بار بالا، خراب شدن لامپها فقط یک مشکل کوچک نیست؛ بلکه یک فاجعه است. وقتی لوله کوارتزی خراب میشود، نه تنها دیگر کار نمیکند، بلکه تکههای شیشه و ذرات مختلف روی سطح ویفر ریخته میشوند. در نتیجه، بازدهی کار کاهش مییابد و مجبور میشوید کل محفظه را تمیز کنید. این واقعاً یک کابوس است. چگونه از خرابی لامپها جلوگیری میکنیم؟ ما لامپهای UHP خود را به گونهای طراحی کردهایم که بتوانند در برابر فشارهای شدید مقاومت کنند. چرخههای حرارتی بسیار سخت هستند؛ بنابراین از کوارتز سنتتیک با خلوص بالا استفاده میکنیم. همچنین از یک چرخه هالوژنی خاص استفاده میکنیم؛ چرا؟ چون این روش از تبخیر تنگستن و تیره شدن دیوارههای لامپ جلوگیری میکند. وقتی دیوارهها تمیز باقی میمانند، گرما به طور یکنواخت پخش میشود؛ در نتیجه هیچ نقطه داغی وجود ندارد، و مهمتر از همه، لامپ خراب نمیشود. اما ما فقط به مقاومت شیشه اتکا نمیکنیم؛ بلکه از سیستم حفاظتی دوگانه استفاده میکنیم. لامپ درون یک پوشش کوارتزی با کیفیت بالا قرار دارد؛ اگر لوله داخلی لامپ خراب شود، پوشش خارجی تمام ذرات را در خود نگه میدارد. در نتیجه، سیلیکون مورد استفاده تمیز باقی میماند. مقابله با گرمای ناشی از لامپها لامپهای با توان بالا، مقدار زیادی گرما تولید میکنند. اگر سیستم خنککنندگی نتواند با این گرما کنار بیاید، انتهای لامپ دچار گرمای بیش از حد میشود. این امر معمولاً منجر به خرابی لامپ میشود. برای جلوگیری از این مشکل، ما سیستمهای حفاظتی انتهای لامپ را تقویت کردهایم تا گازها در جای خود باقی بمانند. یک نکته مهم: به روند افزایش و کاهش دما توجه کنید؛ اگر دما را خیلی سریع تغییر دهید، فشار مکانیکی زیادی روی کوارتز وارد میشود. از کنترل دقیق PID استفاده کنید تا روند تغییر دما آهسته باشد؛ در این صورت، لامپها مدت زمان بیشتری عمل خواهند کرد. نصب لامپها این لامپها جایگزین سادهای برای لامپهای UHP استاندارد هستند؛ نیازی به تلاش زیادی نیست. ما از اتصالات با دقت بالا استفاده میکنیم؛ چون یک اتصال قوی بسیار مهم است. اگر اتصال ضعیف باشد، احتمال وجود جریان الکتریکی وجود دارد؛ این امر باعث خرابی لامپ میشود. همچنین، به ولتاژ تغذیه لامپ توجه کنید؛ اگر ولتاژ نوسان داشته باشد، احتمال خرابی لامپ وجود دارد. ولتاژ را ثابت نگه دارید تا زمان کمتری برای تعویض لامپها صرف شود.