בתהליך הליתוגרפיה, שינוי של חצי מעלה בטמפרטורת החימום עלול לגרום לשינוי בממדים הקריטיים של החומר ברמה של ננומטרים. זה לא קשור רק לחום – זו שליטה, פשוטה ויעילה.
הפנסים הרגילים יכולים לייצר אוזון, ושאריות האוזון משפיעות על יכולת ההידבקות של החומר הפוטורזיסטיבי, וכן על כמות החלקיקים באזור. אנו משתמשים בפנסי אינפרא-אדום ללא אוזון, כך שהטמפרטורה נשארת קבועה, ללא הפתעות.
מה חשוב באמת? אנו משתמשים במקורות אינפרא-אדום בעלי גל ארוך, עם תגובה מהירה, כך שהתפוקה נשארת יציבה תוך שניות. באזור החימום, האחידות בין הוופרים נשארת בטווח של ±0.1°C, והחזריות בין ייצורים שונים נשארת קבועה.
המעטפת העשויה קוורץ והחומרים המתאימים לחדרים נקיים, נועדו לשימוש בסביבות מסוג Class 1–100. אין פליטת גזים ואין חלקיקים בזמן שהפנסים פועלים. צפיפות האנרגיה מותאמת לתכונות החומר הפוטורזיסטיבי, והפלט הספקטרלי מותאם לעקומת הספיגה של החומרים השונים – כך יש פחות עיכובים תרמיים ופחות השפעות בקצוות.
למה זה חשוב בעיבוד החומר הפוטורזיסטיבי? חימום עדין נועד להוציא את הממסים מהחומר ולייצר לחץ על השכבה. חימום אינטנסיבי נועד לייצב את התמונה לפני החיתוך. באמצעות פנסי אינפרא-אדום ללא אוזון, ניתן לשלוט ברוחב הקווים, להפחית פגמים ולהפחית את הצורך בעבודות תיקון.
המערכת פועלת 24/7 עם תפוקה יציבה, וניתן לחסוך אנרגיה בהשוואה לשיטות אחרות, מכיוון שהחום מגיע ישירות לשכבה, ולא לחדר עצמו. הקצב של הייצור עולה, מבלי לפגוע באיכות, וחיי הפנסים מאפשרים שימוש ארוך טווח עם תחזוקה צפויה.
הפרטים הפרקטיים הפלט של הפנסים הוא לאורך קו הראייה, לכן יש צורך שהגאומטריה של המערכת תאפשר לקרן האור להיות מיושרת עם מסלול הוופר. יש להשתמש במכשירים מחזירי אור כדי למנוע חום עודף על המכשירים הסמוכים.
לאחר שהמערכת נעצרת, יש צורך בזמן קצר להגיע לאיזון תרמי – יש לתכנן את זמן החימום בהתאם. התאמה למערכות קיימות היא פשוטה, אך יש לוודא את המרווחים המכניים וחיבורי החשמל עם צוות הציוד שלכם.