ऐसी स्थिति में रुक जाएं… जब खराब होने वाली लैंपें आपके वेफरों को नष्ट कर रही हों!
जब आप उच्च-लोड में वेफरों का उपचार कर रहे होते हैं, तो लैंप के खराब होने से सिर्फ परेशानी ही नहीं होती, बल्कि यह एक वास्तविक आपदा भी हो सकती है।
यदि क्वार्ट्ज ट्यूब फट जाती है, तो काँच के टुकड़े एवं हैलोजन अवशेष सीधे आपके सिलिकॉन पर गिर जाते हैं। ऐसी स्थिति में आपका पूरा उत्पाद नष्ट हो जाता है… यह तो तुरंत ही होने वाली आपदा है।
हमने इस समस्या को दूर करने का तरीका खोज लिया है… हमने रिफ्लेक्टर हाउसिंग में ही एक भौतिक सुरक्षा-ढाल बना दी है।
यह सुरक्षा-ढाल कैसे काम करती है?
रिफ्लेक्टर, उच्च-शुद्धता वाले एल्यूमिनियम/सोने की परतों का उपयोग करके आईआर विकिरण को वेफर की ओर ही भेजता है… लेकिन यह और भी महत्वपूर्ण काम करता है।
लैंप को इस रिफ्लेक्टिव कैविटी में रखने से हमने एक बाधा पैदा कर दी… यदि ट्यूब खराब हो जाती है, तो हाउसिंग उन टुकड़ों को रोक लेती है… इस तरह आपका उत्पाद नष्ट नहीं होता… यह तो एक नियंत्रित विफलता है… बहुत ही अच्छा।
गर्मी से निपटना
इन लैंपों को पूरी क्षमता से चलाने से बहुत अधिक गर्मी पैदा होती है… हमने रिफ्लेक्टर की ज्यामिति में बदलाव किया, ताकि वह ऊर्जा सीधे वेफर की सतह पर ही जाए… इससे चेंबर में अतिरिक्त गर्मी नहीं रहती, एवं उपचार का समय भी कम हो जाता है।
लेकिन यहाँ एक समस्या है… तीव्र फोकल बिंदुओं के कारण ट्यूब के छोरों पर अधिक दबाव पड़ता है… आपको यह सुनिश्चित करना होगा कि आपके कूलिंग फैन पर्याप्त शक्तिशाली हों, ताकि वे ट्यूब से गर्मी को दूर कर सकें… अन्यथा लैंप फिर से जल जाएगा।
इसे अपनी प्रक्रिया में शामिल करना
हमने इन्हें “ड्रॉप-इन” रिप्लेसमेंट के रूप में बनाया है… आपको अपनी पूरी प्रक्रिया को तोड़ने की आवश्यकता ही नहीं है… बस लैंप को बदल देना ही पर्याप्त है… रिफ्लेक्टर को भी साफ कर देना ही काफी है… इस तरह यह एक गंभीर समस्या बनकर नहीं, बल्कि एक सामान्य रखरखाव कार्य बन जाता है।