वेफर प्रसंस्करण में लैंपों के टूटने की समस्या को रोकना
यदि आपने उच्च-लोड वाले सेमीकंडक्टर उत्पादन संयंत्रों में काम किया है, तो आपको इस समस्या का अहसास होगा। लैंप अचानक ही टूट जाता है… यह केवल एक खराब हुआ घटक ही नहीं है; बल्कि यह तो एक बड़ी आपदा है।
जब क्वार्ट्ज ट्यूब टूट जाती है, तो काँच के टुकड़े एवं टंगस्टन फिलामेंट वेफरों पर गिर जाते हैं… ऐसे में आपका सारा काम बर्बाद हो जाता है। अब आपको घंटों, या दिनों तक चैंबर की सफाई करनी पड़ती है… यह तो कोई भी व्यक्ति नहीं चाहेगा।
इसीलिए हमने “ट्विन-ट्यूब गोल्ड-कोटेड लैंप” बनाए। हम इस “द्वितीयक प्रदूषण” समस्या को हमेशा के लिए दूर करना चाहते थे।
रहस्य तो उस “गोल्ड कोटिंग” में ही है…
हमने हीटिंग एलिमेंट को दूसरे क्वार्ट्ज आवरण के अंदर रखा… इसे एक “सुरक्षा जाल” के रूप में ही समझें। यदि बिजली के झटके या तापीय झटकों के कारण आंतरिक ट्यूब टूट जाती है, तो बाहरी ट्यूब सभी मलबे को रोक लेती है… ऐसे में वेफर साफ ही रहते हैं। आप चाहें तो अपनी प्रक्रिया जारी रख सकते हैं, या अपनी इच्छानुसार ही उसे बंद कर सकते हैं… बिना किसी जटिल सफाई के।
गोल्ड क्यों?
सामान्य क्वार्ट्ज लैंपों से बहुत अधिक ऊर्जा बर्बाद हो जाती है… यह ऊर्जा हवा में ही चली जाती है। इस समस्या को दूर करने हेतु हमने लैंपों की बाहरी सतह पर पतली गोल्ड कोटिंग लगाई… यह तो एक दर्पण की तरह काम करती है… इन्फ्रारेड विकिरण को वापस लौटा देती है।
इसके कारण वेफरों की सतह पर अधिक ऊष्मा उत्पन्न होती है… लेकिन वॉटेज बढ़ाने की आवश्यकता ही नहीं है… यह तो अधिक कुशल ही है।
लेकिन एक बात ध्यान रखें… गोल्ड बहुत ही संवेदनशील है… इस पर कठोर रसायनों का उपयोग न करें… ऐसा करने से कोटिंग खराब हो जाएगी… इन लैंपों के साथ सावधानी से ही व्यवहार करें।
वास्तविक दुनिया में इन लैंपों का उपयोग
ये लैंप उच्च-वॉटेज, शॉर्ट-वेव आउटपुट हेतु ही डिज़ाइन किए गए हैं… जब इन्हें उच्च-लोड वाली प्रणालियों में जोड़ा जाता है, तो वहाँ बहुत अधिक ऊष्मा उत्पन्न होती है… इसलिए आपको अपने कूलिंग सिस्टमों की अच्छी तरह जाँच करनी होगी… यदि हवा का प्रवाह कम हो जाता है, तो गोल्ड कोटिंग के कारण क्वार्ट्ज ट्यूब ओवरहीट हो जाएगी… जिससे लैंप की उम्र कम हो जाएगी।
तेज़ गर्मी एवं ठंड के कारण होने वाले दबाव को कम करने हेतु, हमने लैंपों के छोरों पर विशेष सुरक्षा उपकरण लगाए… ऐसा करने से सीलिंग टूटने की समस्या नहीं होगी… ये उपकरण तो सामान्य हीटिंग उपकरणों के स्थान पर भी उपयोग में आ सकते हैं… इसलिए आपको पूरी सुविधा को फिर से बनाने की आवश्यकता ही नहीं है।