壊れたランプによって、生産されるウェーハが台無しになってはいけません。MEMSウェーハを清潔に保つことが重要です。
大量生産の環境では、1つの故障が全体を台無しにしてしまうことがあります。例えば、赤外線ランプが破損すると、ウェーハは湿っただけでなく、ガラスの破片や金属の粉で覆われてしまいます。これは、数秒間で全てのウェーハが廃棄されてしまうという悪夢のような状況です。
私たちは、そうした問題を防ぐために特別にヒーターを設計しています。
ランプが壊れる原因 ほとんどの場合、熱衝撃や過度な発熱が原因です。これに対処するために、高純度の合成石英を使用しています。これは非常に耐久性が高く、ウェーハの急速な加熱・冷却にも耐えられます。
また、タングステンフィラメントにも気を使っています。少しでも沈んだり、壁に触れたりすると、発熱点ができてしまいます。それがきっかけで亀裂が生じます。私たちは、熱が均一に分布するように、すべてを完璧に調整しています。
破片の防止 もしランプが壊れてしまったとしても、その破片が製品に当たってはいけません。そのため、二重の保護構造を採用しています。ヒーター要素を石英製のケースや保護カバーで包み込んでいるのです。
これはまるでセーフネットのようなものです。内側のランプが壊れても、外側のケースがすべての破片を受け止めます。確かにランプ自体は交換が必要になりますが、ウェーハは無事に残ります。
また、弱い接続部分を強化されたものに変更しました。これにより、電気の放電が起こるのを防ぎます。しっかりと固定されていれば、ランプが早期に壊れることもありません。
現実的なトレードオフ 高ワット数の短波ランプは、迅速に温度を上げられるため、生産効率が高くなります。しかし、その分、熱密度も高くなります。
そのため、チャassisの通気性がしっかりしているかを確認する必要があります。もしランプの周辺に熱が溜まると、どんなに良質な石英であっても、密封部分が劣化してしまいます。
そして、もう一つのコツです。反射板を清潔に保つことです。汚れが付くと、熱がウェーハではなく、ランプ内部に戻ってしまいます。小さなことですが、これによってランプの寿命が大幅に延びます。