파편의 발생을 막아보세요: 웨이퍼를 깨끗하게 유지하고 건조기를 안전하게 보호하기
고부하 작업 중에 적외선 램프가 폭발한 경험이 있다면, 그것이 얼마나 끔찍한 상황인지 잘 알 것입니다. 한 순간은 모든 것이 정상적이었는데, 다음 순간에는 석영 파편과 금속 필라멘트들이 웨이퍼 위로 떨어집니다.
이건 완전한 재앙입니다. 단순히 하나의 웨이퍼만 손실되는 것이 아니라, 전체 제품군이 망가질 수도 있습니다. 우리는 이러한 문제가 발생하기 전에 미리 대비하는 방법을 찾기 위해 많은 시간을 투자했습니다.
열 문제 해결하기
대부분의 램프는 두 가지 이유로 고장 납니다. 하나는 특정 부분이 너무 뜨거워지는 것이고, 다른 하나는 갑작스러운 온도 변화 때문입니다.
이를 해결하기 위해, 우리는 고출력으로 인한 팽창을 견딜 수 있도록 특별히 설계된 고순도 석영 유리를 사용합니다. 하지만 유리만으로는 충분하지 않습니다. 실제로 중요한 역할을 하는 것은 디지털 컨트롤러입니다. 이 컨트롤러가 전력의 공급을 조절하여 유리가 균열나는 것을 방지합니다.
또한 PID 제어 기능을 사용하여 온도가 설정값을 초과하지 않도록 합니다. 이를 통해 필라멘트가 적절한 위치에 있도록 유지됩니다. 한 가지 조언을 드리자면, 생산 목표를 달성하기 위해 램프의 출력을 110%까지 높이려고 하면 오히려 램프가 더 빨리 고장날 것입니다. 또한, 냉각 공기의 흐름이 램프의 발열량에 맞게 조절되는지 확인해야 합니다. 그렇지 않으면 과열이 발생하여 문제가 생길 수 있습니다.
파편이 웨이퍼에 닿지 않도록 하기
목표는 간단합니다. 웨이퍼 위에 아무것도 떨어져서는 안 됩니다.
이를 위해 물리적인 보호 장치와 안전한 고정 방식을 사용합니다. 램프 홀더는 램프가 중앙에 위치하도록 하고 진동을 방지합니다. 이는 사소해 보일 수 있지만, 유리가 케이스와 마찰을 일으키면 미세한 균열이 생깁니다. 바로 이러한 균열들이 램프가 폭발하는 원인이 됩니다.
또한 석영에 특수 코팅을 적용하여 적외선의 파장을 조절합니다. 그래서 에너지가 웨이퍼에 집중되고 케이스에는 닿지 않도록 합니다. 케이스가 너무 뜨거워지면 유기물이 새어나와 클린룸을 오염시킬 수 있습니다. 이는 좋지 않은 상황입니다.
지루하지만 중요한 사항들
와이어 연결도 반드시 단단해야 합니다. 예외는 없습니다.
우리는 산업용 커넥터를 사용합니다. 왜냐하면 단자에서 아크가 발생하면 램프가 고장날 수 있기 때문입니다. 연결이 느슨하면 과열이 발생하여 램프의 끝부분이 녹을 수 있습니다.
반드시 분기별로 와이어 연결 상태를 점검하세요. 몇 분밖에 걸리지 않지만, 단단한 연결은 안정적인 전력 공급과 램프의 고장을 줄여줍니다.