디지털 적외선 건조기 컨트롤러
파편의 발생을 막아보세요: 웨이퍼를 깨끗하게 유지하고 건조기를 안전하게 보호하기 고부하 작업 중에 적외선 램프가 폭발한 경험이 있다면, 그것이 얼마나 끔찍한 상황인지 잘 알 것입니다. 한 순간은 모든 것이 정상적이었는데, 다음 순간에는 석영 파편과 금속 필라멘트들이...
근적외선(NIR) 웨이퍼 건조기
300mm 공정에서 포토레지스트를 건조시키는 과정은 단순한 열처리 단계가 아닙니다. 이는 치수 정밀도를 보장하는 매우 중요한 과정입니다. 만약 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 온도가 ±0.1°C만큼이라도 벗어나면, 치수 제어가 불가능해집니다. 일반적인 가열판 방...
DNS (스크린) 웨이퍼 드라이어 램프
리소그래피 공정에서의 온도 변화 리소그래피 공정에서 소프트 베이크 또는 하드 베이크에서 1°C의 드리프트는 “작은 오류"가 아닙니다. 이는 수율에 영향을 미치는 명백한 요인입니다. 웨이퍼가 트랙을 떠날 때 엣지 비드, 라인 폭의 변동, 또는 완전히...