혼란을 막는 방법: UHP 난방 시 발생하는 입자 오염 문제 해결하기 고부하가 요구되는 반도체 제조 환경에서는 램프가 고장 나는 것이 단순한 문제가 아닙니다. 그것은 심각한 재앙입니다. 쿼츠 튜브가 파손되면, 램프는 작동을 멈출 뿐만 아니라, 유리 조각과 입자들이 웨이퍼 표면에 흩뿌려집니다. 그러면 생산성이 급격히 떨어지고, 챔버를 청소해야 하는 상황이 됩니다. 정말 악몽 같은 상황입니다. 파손을 막는 방법 우리는 내구성이 뛰어난 UHP 램프를 만듭니다. 열 주기가 극심하기 때문에, 우리는 고순도의 합성 쿼츠를 사용합니다. 또한 특정한 할로겐 순환 방식을 사용합니다. 왜냐하면 이 방식을 통해 텅스텐이 증발하여 벽面이 어두워지는 것을 막을 수 있기 때문입니다. 벽面이 깨끗하게 유지되면 열이 고르게 분배됩니다. ‘핫 스팟’이 생기지 않으며, 이상한 부하도 발생하지 않습니다. 무엇보다도 램프가 파손되는 일도 없습니다. 하지만 우리는 단순히 유리의 강도에만 의존하지 않습니다. 이중 보호 구조를 사용합니다. 램프는 고품질의 쿼츠 슬리브 안에 위치합니다. 내부 필라멘트 튜브가 파손되더라도 외부 슬리브가 모든 파편을 가두어 줍니다. 그렇게 하면 실리콘이 깨끗하게 유지됩니다. 열 문제 해결하기 고출력 램프는 엄청난 양의 열을 발생시킵니다. 만약 냉각 시스템이 이 열을 감당할 수 없다면, 램프의 끝부분이 과열됩니다. 그러면 밀폐 구조가 파괴됩니다. 이를 방지하기 위해 우리는 끝부분의 밀폐 구조를 강화했습니다. 한 가지 팁: 온도 변화 속도를 조절하세요. 온도를 너무 빠르게 변화시키면 쿼츠에 엄청난 기계적 스트레스가 가해집니다. 정밀한 PID 제어를 사용하여 속도를 줄이세요. 그러면 램프의 수명이 훨씬 길어집니다. 설치 방법 이 램프들은 일반적인 UHP 램프와 호환됩니다. 별도의 설치가 필요하지 않습니다. 정밀하게 가공된 커넥터를 사용하여 전기적 연결을 확실히 해야 합니다. 연결이 느슨하면 아크가 발생하여 전극이 손상되고, 램프의 수명이 단축됩니다. 또한 전원 공급 장치도 주의해야 합니다. 전압이 급격히 변하면 필라멘트가 손상될 수 있습니다. 전압을 안정적으로 유지하면 램프를 자주 교체할 필요가 없습니다.