클래스 100 등급의 청정실을 실제로 깨끗하게 유지하는 방법 MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때는 이미 그 고통을 잘 알고 있을 것입니다. 웨이퍼 위에 단 한 방울의 먼지만 떨어져도 전체 제품이 망가지는 것입니다. 정말 짜증나는 일이죠. 문제는 대부분의 일반적인 가열 요소들이 사실상 미세한 입자를 생성하는 원인이 된다는 점입니다. 이러한 입자들은 원치 않는 곳에 생겨나게 됩니다. 우리는 이 문제를 해결하기 위해 고순도의 합성 석영 IR 램프를 사용합니다. 이 램프들은 아무런 입자도 방출하지 않으며, 금속성 불순물도 나오지 않습니다. 따라서 생산 라인을 원하는 상태로 유지할 수 있습니다.
왜 석영이 중요한가? 우리는 특수한 종류의 석영 커버를 사용하여 열원이 웨이퍼 표면에 영향을 주지 않도록 합니다. 일반 유리는 열을 견딜 수 없어서 열을 받으면 균열이 생기거나 유해한 휘발성 유기 화합물을 방출합니다. 반면 석영은 열 충격을 견딜 수 있습니다. 게다가 IR 복사선은 웨이퍼 위의 액체 층을 직접 통과하여 증발시킵니다. 접촉이 전혀 없으므로, 섬세한 MEMS 구조가 손상되지 않습니다.
적절한 열을 얻는 방법 웨이퍼를 몇 초 안에 건조시키려면 충분한 열이 필요합니다. 우리는 특정 화학적 조건에 맞게 필라멘트의 와트수와 전압을 조절합니다. 하지만 문제는 고출력 램프의 끝부분이 매우 뜨거워진다는 것입니다. 적절한 냉각 시스템이 없으면 램프가 손상될 수 있습니다. 이는 균형을 맞추는 작업입니다.
램프 관리 방법 우리는 이 램프들이 빠르게 교체될 수 있도록 설계했습니다. 가동 중단 시간은 치명적이기 때문에, 우리는 교체 과정을 최대한 간편하게 만들었습니다. R7s나 SK 커넥터를 사용하든 상관없이, 램프가 단단히 고정되어 있어야 합니다. 그렇지 않으면 접촉 부위에서 산화가 발생할 수 있습니다. 또한 램프의 작동 시간을 주의깊게 확인해야 합니다. 100%로 계속 사용하면 필라멘트가 점차 얇아집니다. 저는 보통 전류량을 주의깊게 관찰하라고 조언합니다. 전류량이 줄어들기 시작하면 램프를 교체해야 합니다. 램프가 고장 나거나 건조실에 진공이 발생하는 것보다는 스스로 램프를 교체하는 것이 훨씬 낫습니다.