왜 쿼츠 실드가 팹 램프에 그토록 중요한지
웨이퍼 가공을 위해 적외선 난방 램프를 사용하는 경우, 열 주기가 빠르고 정확해야 한다는 것을 잘 알고 있을 것입니다. 이를 실현하기 위해서는 모든 것이 엉망이 되지 않도록 램프 앞에 쿼츠 유리 실드를 설치합니다.
이는 단순히 램프를 깨끗하게 유지하기 위한 것이 아닙니다. 실제로는 열을 어떻게 처리할지와 관련된 문제입니다. 특히 친환경 에너지 목표를 달성하고 에너지 낭비를 줄이고자 하는 경우에는 더욱 그렇습니다.
열에 대한 고려사항
재료의 경우, 고순도의 융합 쿼츠를 사용합니다. 이유는 짧은 파장의 적외선이 그대로 통과할 수 있기 때문입니다. 만약 저품질의 유리를 사용한다면, 실드 자체가 열을 흡수하게 됩니다. 이는 큰 문제를 초래합니다. 유리가 스트레스를 받아 균열이 생기고, 결국 램프가 망가집니다. 반면 순수한 쿼츠는 열이 웨이퍼로 정확히 전달되도록 해줍니다. 그러므로 장비 자체와 싸울 필요가 없어서, 과도한 전력을 사용할 필요도 없으며, 전기 요금도 줄어듭니다.
램프를 오염으로부터 보호하기
팹은 매우 거친 환경입니다. 화학 물질과 입자들이 사방에 날아다니죠. 이러한 것들이 램프에 닿으면 “열점”이 생깁니다. 이러한 열점은 램프를 예상보다 훨씬 빨리 망가뜨립니다. 쿼츠 실드를 사용하면 램프를 보호할 수 있습니다. 그 결과, 몇 주마다 램프를 교체해야 하는 번거로움이 줄어들고, 쓰레기도 줄어들어 예산도 절약됩니다.
주의해야 할 몇 가지 사항
쿼츠는 훌륭한 재료이지만, 깨지기 쉽습니다. 그러므로 설치할 때는 주의해야 합니다. 클램프를 너무 세게 조이면, 급격한 온도 변화 시 실드가 깨질 수 있습니다. 실드에는 팽창할 공간이 필요합니다. 또한, 필라멘트와 목표물 사이에 유리层가 생기면, 빛의 강도가 약간 줄어듭니다. 그러므로 보충하기 위해 약간 더 높은 와트수의 램프가 필요할 수도 있습니다. 이런 정보를 알아두면, 왜 온도가 조금씩 다른지 궁금해하지 않아도 됩니다.