Stop de scherven: houd je wafers schoon en je drogers veilig
Als je ooit te maken hebt gehad met een infraroodlamp die in het midden van een intensieve productieprocedure kapotging, weet je dat het een nachtmerrie is. Eén seconde is alles in orde, en de volgende seconde vallen er kwartsfragmenten en metalen filamenten op je substraat.
Het is een complete ramp. Je verliest niet alleen één wafer; er kan ook sprake zijn van secundaire besmetting die hele batches kan ruïneren. We hebben veel tijd besteed aan het bedenken van manieren om deze keten van fouten al voordat deze begint te stoppen.
Omgaan met de hitte
De meeste lampen gaan kapot door twee oorzaken: ze worden op één plek te heet, of ze krijgen een plotselinge thermische schok.
Om dit op te lossen gebruiken we kwartsglas van hoge zuiverheid, met een wanddikte die speciaal is gekozen om de uitzetting die gepaard gaat met hoge vermogenswaarden te kunnen weerstaan. Maar het glas is slechts de helft van het antwoord. De digitale controller doet het echte werk: hij regelt hoe het vermogen op- en neergaat.
Door plotselinge stijgingen van het vermogen te voorkomen, voorkomen we dat het glas onder druk barst.
We gebruiken ook PID-regelingen om te zorgen dat de temperatuur niet te hoog wordt. Hierdoor blijft het filament op de juiste plek. Een tip: als je probeert deze lampen tot 110% van hun capaciteit te laten werken om een productiedoel te halen, zul je ze eerder kapotmaken. Zorg er ook voor dat de koelluchtstroom overeenkomt met de hitteproductie van de lampen. Anders zal het te heet worden in de lamp, waardoor er problemen ontstaan.
Het voorkomen van schade
Het doel is simpel: er mag niets op de wafers terechtkomen.
We gebruiken fysieke bescherming en stevige bevestigingen om dit te bereiken. Onze lamphouderhouders houden de buizen centraal en voorkomen trillingen. Dit mag dan een klein detail lijken, maar wanneer glas tegen het chassis komt, ontstaan er microbarsten. Die kleine barsten kunnen leiden tot een kapotte lamp.
We gebruiken ook gespecialiseerde coatings op het kwartsglas. Hierdoor wordt de golflengte van het infrarode licht geregeld, zodat de energie op de wafer terechtkomt en niet op het chassis. Als het chassis te heet wordt, kan het ‘gassen’ uitstoten, waardoor organische vervuilingen in de schone ruimte terechtkomen. Dat is zeker niet gewenst.
De saaie (maar belangrijke) details
De bedrading moet strak zijn. Geen uitzonderingen.
We gebruiken industriële connectoren, want kortsluiting aan de verbindingen is een oorzaak van defecten. Een losse verbinding zorgt voor een hete plek, en die hete plek kan de lamp beschadigen.
Doe jezelf een lol en controleer je bedrading elke kwartaal. Het duurt maar een paar minuten, maar strakke verbindingen zorgen voor stabiel vermogen en minder kapotte lampen.