Litografi sürecinde, yumuşak pişirme sıcaklığında meydana gelen yarım derecelik bir değişiklik bile kritik boyutları nanometrelerce etkileyebilir. Bu sadece ısı meselesi değil; bu, basit ve net bir kontrol sürecidir.
Standart lambalar ozon üretebilir ve bu ozon kalıntıları foto dirençlerin yapışma özelliklerini bozar ve parçacık sayısını olumsuz yönde etkiler. Biz ise ozonsuz kızılötesi ışık kullanıyoruz; böylece termal durum istediğiniz şekilde kalır ve herhangi bir sürpriz olmaz.
Önemli olan şeyler
Hızlı tepki veren kısa dalga boylu kızılötesi ışık kaynakları kullanıyoruz; böylece saniyeler içinde stabil bir çıkış elde ediliyor. Pişirme bölgesinde wafer seviyesindeki tutarlılık ±0,1°C civarında kalıyor ve işlem tekrarlanabilirliği de sabit kalıyor.
Kuarz kaplamalar ve temiz oda uyumlu malzemeler, 1–100 sınıfı ortamlar için tasarlanmıştır. Lambalar çalışırken herhangi bir gaz salınımı veya parçacık oluşumu olmaz. Güç yoğunluğu foto dirençlerin özelliklerine göre ayarlanır ve spektral çıkış da yaygın olarak kullanılan foto dirençlerin emilim eğrisine uygun hale getirilir; böylece termal gecikmeler azalır ve kenar etkileri minimize edilir.
Bu özelliklerin foto direnç işlemlerindeki rolü
Yumuşak pişirme işlemi, çözücülerin uzaklaştırılmasını ve filmin stresinin düzenlenmesini sağlar. Sert pişirme işlemi ise aşındırma işleminden önce görüntünün stabil hale getirilmesini sağlar. Ozonsuz kızılötesi ışık sayesinde hat genişliği kontrolü sağlanır, kusurlar azaltılır ve yeniden işleme ihtiyacı düşer.
Sistem 24/7 stabil bir şekilde çalışır ve konveksiyon yöntemlerine kıyasla daha az enerji tüketilir; çünkü ısı doğrudan filme aktarılır, odanın içine değil. Verimlilik artarken, lambaların ömrü de uzun süreli kullanımlar için uygundur.
Pratik detaylar
Lamba çıkışı doğrudan odaktadır; bu yüzden entegrasyon geometrisi ışının wafer yoluna paralel kalmasını sağlamalıdır. Yanlış ısının komşu optik bileşenlere zarar vermesini engellemek için yansıtıcı elemanlar kullanılmalıdır.
Alet kullanılmadığı zamanlarda, termal dengeye ulaşmak için kısa bir ısınma süresi gereklidir; pişirme profillerinizi bu süreye göre planlayın. Mevcut sistemlerle uyumluluk sorunsuzdur; ancak mekanik mesafeleri ve güç bağlantılarını ekipman ekibinizle teyit edin.