Ngăn chặn tình trạng ô nhiễm do các hạt bụi trong quá trình sử dụng đèn UHP Trong môi trường sản xuất bán dẫn với công suất cao, việc đèn bị hỏng không chỉ gây phiền toái mà còn dẫn đến những thiệt hại nghiêm trọng. Khi ống thủy tinh chứa đèn bị vỡ, nó không chỉ ngừng hoạt động mà còn khiến các mảnh thủy tinh và hạt bụi rơi xuống bề mặt wafer. Kết quả là sản lượng sản xuất sẽ giảm sút, và bạn phải tiến hành vệ sinh toàn bộ buồng sản xuất. Thật là kinh khủng. Làm thế nào để ngăn chặn tình trạng đèn bị hỏng? Chúng tôi chế tạo đèn UHP sao cho chúng có thể chịu được áp lực lớn. Quy trình sản xuất đèn diễn ra trong điều kiện nhiệt độ cao, vì vậy chúng tôi sử dụng thủy tinh tổng hợp có độ tinh khiết cao. Chúng tôi cũng sử dụng chu trình halogen đặc biệt để ngăn chặn việc wolfram bị bay hơi và làm cho thành ống bị đen đi. Khi thành ống vẫn trong suốt, nhiệt độ sẽ được duy trì ổn định. Như vậy, sẽ không có hiện tượng “điểm nóng” hay áp lực cục bộ nào xảy ra, và quan trọng nhất là đèn sẽ không bị vỡ. Nhưng chúng tôi không chỉ dựa vào độ bền của chất liệu thủy tinh. Chúng tôi còn sử dụng cấu trúc bảo vệ kép. Đèn được đặt bên trong một lớp vỏ thủy tinh chất lượng cao. Nếu ống dây tóc bên trong bị hỏng, lớp vỏ bên ngoài sẽ giữ lại mọi thứ, giúp bảo vệ wafer khỏi bị ô nhiễm. Xử lý vấn đề nhiệt độ Đèn có công suất cao sẽ tạo ra lượng nhiệt lớn. Nếu hệ thống làm mát không thể giải tỏa được lượng nhiệt này, đầu đèn sẽ bị quá nhiệt. Đó chính là lúc các chi tiết kết nối bị hỏng. Để ngăn chặn điều này, chúng tôi gia cố các chi tiết kết nối để giữ khí trong khoang đèn. Một mẹo nhỏ: Hãy kiểm soát quá trình tăng/giảm nhiệt độ một cách cẩn thận. Nếu bạn tăng/nhập nhiệt độ quá nhanh, bạn sẽ tạo ra áp lực cơ học lớn lên thủy tinh. Hãy sử dụng hệ thống điều khiển PID chính xác để giảm tốc độ này. Như vậy, đèn sẽ hoạt động lâu hơn nhiều. Lắp đặt đèn Những chiếc đèn này có thể thay thế dễ dàng cho các đèn UHP thông thường. Chúng tôi sử dụng các bộ kết nối được chế tạo với độ chính xác cao, vì độ kết nối chuẩn xác là yếu tố quan trọng. Nếu kết nối không chặt chẽ, sẽ xảy ra hiện tượng phóng điện, khiến đèn hỏng nhanh hơn bình thường. Ngoài ra, hãy chú ý đến nguồn điện cung cấp. Nếu điện áp tăng đột ngột, đầu dây tóc của đèn có thể bị hỏng. Hãy giữ điện áp ổn định, như vậy bạn sẽ không phải thay đèn thường xuyên.