Zachování bezpečnosti při čištění s těkavými chemikáliemi Buďme upřímní: ohřívání čisté místnosti plné hořlavých rozpouštědel je znepokojující....

Přestaňte zahřívat stěny vaší vakuové komory Když se snažíte zahřát desku nebo substrát uvnitř vakuua, chcete, aby energie šla právě tam – k danému...

Přestaňte se starat o své infračervené ohřívače v chemických prostředích Buďme upřímní: používání infračervených lamp v blízkosti hořlavých...

Přestaňte ztrácet energii na stěny nástroje Zahřát silikonovou destičku vyžaduje obrovské množství energie. Problém spočívá v tom, že většina...

Ukončení noční můry z prasknutí lamp při zpracování waferů Pokud jste pracovali v provozech s vysokou zátěží v oblasti výroby polovodičů, znáte ten...

Proč používáme zlatem pokryté infračervené lampy pro bezolovnaté polovodiče Buďme upřímní: tradiční konvekční pece jsou poněkud zbytečné. Vynakládáte...

Správné zahřívání v systémech s infračerveným zářením ve vakuu Při výrobě polovodičů je potřeba obrovské množství tepla, ale nemůžete si dovolit...

Přestaňte nechat vyhořelé lampy zničit vaše destičky Při vysokonákladové úpravě destiček představuje vyhoření lampy více než jen problém nebo...

Zachování bezpečnosti: Zapojování polovodičových topných prvků V výrobě polovodičů neexistuje pojem „dostatečně blízko“. I sebemenší únik elektřiny...

Udržení čisté místnosti třídy 100 opravdu čistou Pokud provozujete místnost třídy 100, určitě znáte noční můru spojenou s kontaminací. Jediný drobný...

Problém: Jak zvládnout vysoké teploty u nástrojů na zpracování čipů Pojďme mluvit o nástrojích na zpracování čipů. Samozřejmě potřebují teplo, ale...

V provozu výrobních linek se odchylky teploty při pečení neprojevují jako varování – projevují se spíše jako variace v šířce pruhů, problémy s...

Na lince stačí půl stupně odchylky během zahřívání fotoresistu k tomu, aby kritické rozměry vyšly mimo specifikace. Pomalé sušení polovodičových...

V procesu litografie může půl stupně změny teploty během soft bake fáze způsobit posun kritických rozměrů o několik nanometrů. Nejde jen o teplo –...

V prostředí lithografie se člověk rychle naučí: i malá odchylka v profilu zahřívání může mít za následek problémy s kvalitou výrobku. Odpad o půl...