Prevence kontaminace waferů díky bezpečnostní konstrukci UHP infračervené lampy
Zastavení problémů: Jak se vypořádat s kontaminací částicemi při použití lamp UHP V zařízeních s vysokým výkonem je selhání lampy opravdu katastrofou...
Prevence kontaminace waferů díky návrhu pouzdra IR topného elementu z nerezové oceli
Zastavení noční můry spojené s selháním infračervené lampy V továrnách na výrobu polovodičů není selhání infračervené lampy jen technickou chybou –...