Řešení problému „horkých stěn“ v fázích oplachování polovodičů
Pokud jste někdy pracovali s polovodičovou výrobou, víte, jaké to je. Během procesu oplachování je potřeba zahřát destičku, ale zároveň nechcete, aby se obal zařízení proměnil v troubu.
Tradiční zářivky v podstatě fungují jako žárovky – vyzařují teplo všude kolem. To znamená, že vnitřní stěny zařízení se velmi zahřívají. Je to plýtvání energií a navíc představuje bezpečnostní riziko pro každého, kdo pracuje poblíž stroje.
Našli jsme lepší řešení: směrové infračervené lampy.
Jak to vlastně funguje
Většina infračervených lamp vyzařuje světlo ve 360stupňovém kruhu. To nepotřebujeme. Místo toho používáme vysokofrekvenční emitory spolu se specializovanými odražovači.
Vysokofrekvenční infračervené záření je skvělé – proniká přímo do kapaliny použité k oplachování a působí přímo na povrch destičky. Tímto způsobem můžeme tepelnou energii poslat přesně tam, kam je potřeba. Tak dosáhneme požadované teploty na povrchu destičky, zatímco samotný obal zařízení zůstane chladný na dotek.
Řešení problému s vlhkostí
Fáze oplachování jsou ze své podstaty vlhké. Voda a elektřina si rozhodně nevyhovují. Abychom zabránili poruchám, používáme vodotěsné uzavření elektrických kontaktů. Bez nich vlhkost poškozuje kontakty, což vede k poruchám. Všechno také balíme do kvartzních obalů – ty jsou odolné a dokážou vydržet chemické páry i občasné kapky vody.
Problémy spojené s použitím těchto lamp
Není to tak jednoduché, jak se zdá. Protože soustředíme veškeré teplo do jednoho bodu, je velmi důležitá přesnost. Pokud je lampa o několik milimetrů mimo správnou polohu, vzniknou na destičce „horké body“. To je problém.
A je tu ještě jeden problém: zatímco stěny zařízení zůstávají chladné, sama lampa se velmi zahřívá. Nemůžeme ignorovat obal zařízení. Pokud chladiče nejsou dostatečně efektivní, emitor se spálí mnohem dříve, než by měl.
Nejlepší řešení je zapojit tyto lampy do systému PID regulace. Díky tomu zůstává teplota stabilní a předvídatelná. Vaše destičky zůstanou konzistentní, zařízení zůstane chladné a vaši operátoři mohou konečně pracovat v klidu.