Proč ještě čekat na horký vzduch? Nahřívání pomocí infračerveného záření v polopřípravných procesech Pokud jste někdy pracovali s hlubokým...

V procesu litografie může půl stupně změny teploty během soft bake fáze způsobit posun kritických rozměrů o několik nanometrů. Nejde jen o teplo –...