V prostředí lithografie se člověk rychle naučí: i malá odchylka v profilu zahřívání může mít za následek problémy s kvalitou výrobku. Odpad o půl...

V prostoru určeném k litografii nejenže topný element zvyšuje teplotu, ale také určuje celkový termální profil fotorezistentu. Pokud dojde k odchylce...