Sicherheit bei der Erwärmung von Wafern in der Nähe flüchtiger Chemikalien
Seien wir ehrlich: Infrarotlampen direkt neben brennbaren Lösungsmitteln und explosiven Dämpfen zu platzieren, ist eine äußerst riskante Maßnahme. Wenn man eine herkömmliche, offene Lampe in einer chemischen Reinigungslinie verwendet, lädt man im Grunde genommen ein Unglück herbei.
Wir lösen dieses Problem, indem wir auf offene Designs verzichten und stattdessen spezielle Abdeckungen verwenden.
Wie die „Sicherheitsblase“ funktioniert
Wir umhüllen unsere Lampen mit hochreinem Quarz oder speziellem Glas. Es geht dabei nicht nur darum, alles sauber zu halten – diese Abdeckung dient auch als physische Barriere zwischen den elektrischen Komponenten und der Luft um sie herum.
Um sicherzustellen, dass nichts eindringen kann, verwenden wir Keramik-Metall-Dichtungen an den Anschlüssen. Dadurch werden chemische Dämpfe daran gehindert, in das Gehäuse einzudringen.
Warum ist das wichtig? Wenn eine Dampfwolke in die Kammer gelangt, verhindert die abgedeckte Lampe, dass ein elektrischer Funke ein Feuer auslöst. Außerdem überwachen wir strikt die Temperatur der Außenoberfläche. Wenn das Gehäuse zu heiß wird, könnte dies dazu führen, dass die Reinigungsmittel entzünden – und das möchte niemand.
Stabilität gewährleisten
Wir verwenden Kurzwellen-Infrarotlicht, da dieses direkt auf die Oberfläche der Wafer trifft. Dadurch wird Energie nicht verschwendet, indem die umgebende Luft erwärmt wird. Folglich verdampfen die Chemikalien im Bad nicht zu schnell.
Es ist zwar schnell – aber man muss vorsichtig sein, damit die Dichtungen nicht unter Druck geraten.
Außerdem achten wir auf alle Details. Wir verwenden verstärkte Verbindungen, damit die Kabel während des Betriebs nicht locker werden. Ein lockeres Kabel kann einen Hotspot verursachen – und in einer chemischen Umgebung bedeutet ein Hotspot ein potenzielles Feuergefahr.
Kompromisse
Nichts ist perfekt. Durch die zusätzliche Schutzschicht zwischen dem Filament und der Wafer sinkt die Wärmeübertragungseffizienz etwas im Vergleich zu einer normalen Lampe.
Man muss wahrscheinlich die Leistung erhöhen oder die Wafer etwas länger in der Hitze belassen, um die gewünschte Temperatur zu erreichen. Vergessen Sie nicht, die Einstellungen des PLC anzupassen, damit Sie nicht zu hohe Temperaturen erreichen.