Hören Sie auf, Energie an die Wände der Geräte zu verschwenden
Das Erhitzen eines Siliziumwafers erfordert eine Menge Energie. Das Problem: Die meisten herkömmlichen IR-Systeme strahlen diese Energie überallhin ab. Ein großer Teil der Energie landet dabei an den Innenwänden der Geräte statt auf dem Wafer selbst.
Im Grunde wird das Gehäuse des Geräts zu einer Art „Riesenkühler“. Dadurch werden die Außenwände des Geräts so heiß, dass sie Verbrennungen verursachen können. Zudem müssen die Kühlsysteme viel härter arbeiten als nötig. Das ist einfach nur verschwenderisch.
Wie wir das Problem lösen
Wir kümmern uns darum, indem wir genau steuern, wohin die Wärme geht. Anstelle von Lampen, die in alle Richtungen leuchten, verwenden wir gefilterte Emittoren und Reflektoren, um den IR-Strahl direkt auf den Wafer zu richten.
Stellen Sie sich das wie den Umstieg von einer gewöhnlichen Glühbirne auf eine Taschenlampe vor. Durch das Einschränken des Winkelns bleibt die Energie auf einem bestimmten Weg. Die Wärme gelangt genau dorthin, wo sie benötigt wird – und dringt nicht mehr in die Wände des Raumes ein.
Vorteile für die Bediener der Maschinen
Wenn die Wände nicht mehr so viel überschüssige Wärme aufnehmen, wird es für Ihr Team viel sicherer. Sie müssen sich keine Sorgen mehr um die „heißen Stellen“ an der Außenseite der Geräte machen – schließlich können diese während einer Wartung zu Problemen führen.
Wir setzen nicht einfach nur Isolierung an die Wände, um das Problem zu verbergen. Wir sorgen dafür, dass die Wärme gar nicht erst die Wände erreicht.
Nachteile (denn nichts ist perfekt)
Es gibt jedoch einen Haken: Da die Wärme so konzentriert ist, ist die Strahlungsintensität auf dem Wafer deutlich höher. Dadurch verkürzen sich zwar die Aufwärmzeiten – was großartig ist – doch die Temperatursteuerungen müssen stärker arbeiten. Wenn die Einstellungen der PID-Steuerung nicht richtig sind, kann die Zieltemperatur überschritten werden. Außerdem sollten Sie sicherstellen, dass Ihre IR-Sensoren für die spezifische Wellenlänge der Lampe kalibriert sind – sonst sind die Messwerte ungenau.
Die gute Nachricht: Diese Sensoren sind als Ersatzteile konzipiert. Sie müssen lediglich mit der vorhandenen Stromversorgung verbunden werden – und schon funktionieren sie. Sie werden sofort einen Unterschied bemerken: Der Wafer erwärmt sich schneller auf die gewünschte Temperatur, und die Wände des Raumes bleiben kalt.