Erreichen einer vollständigen Kontaminationsfreiheit bei der Trocknung von MEMS Wafern mithilfe von IR Lampen aus hochreinem Quarz
Wie man einen Saal der Klasse 100 tatsächlich sauber hält Wenn man MEMS-Sensorwafern trocknet, kennt man das Problem: Ein einziger Staubkorn auf der...
Heizgerät zur Trocknung von MEMS Sensorwafern
Lassen Sie nicht zu, dass eine kaputte Lampe Ihre gesamte Charge zerstört – halten Sie die MEMS-Wafer sauber!
In einer Anlage mit hoher...
MEMS Wafer Trocknungsheizung
Zurück in der Linie verlässt ein nasses MEMS-Wafer die Reinigung und steht wartend bereit. Die nächste Station – Fotoresist-Beschichtung, Softbake...