Wie man einen Saal der Klasse 100 tatsächlich sauber hält Wenn man MEMS-Sensorwafern trocknet, kennt man das Problem: Ein einziger Staubkorn auf der Waferfläche bedeutet, dass die gesamte Wafer zerstört ist. Das ist frustrierend. Das Problem liegt darin, dass die meisten Standardheizelemente im Grunde genommen „Staubfabriken“ sind – sie geben mikroskopisch kleine Partikel ab, genau dort, wo man sie nicht haben möchte. Wir haben dieses Problem gelöst, indem wir auf Hochreinquarzlampen zurückgegriffen haben. Diese Lampen geben keine Partikel ab, sie leiten kein Metall aus und sorgen dafür, dass die Produktionslinie genau da bleibt, wo sie sein sollte. Warum Quarz wichtig ist Wir verwenden eine spezielle Art von Quarzkapsel, damit die Wärmequelle die Waferoberfläche nicht beeinträchtigt. Normales Glas kann die Hitze nicht verkraften – es zerbricht oder gibt während des Erwärmens unerwünschte organische Verbindungen ab. Unser Quarz hingegen kann thermische Belastungen problemlos aushalten. Zudem dringt das Infrarotlicht direkt durch die Flüssigkeitsschicht auf der Waferfläche und verdunstet sie. Kein Kontakt, keine Reibung – das ist die einzige Möglichkeit, um die empfindlichen MEMS-Strukturen intakt zu halten. Die richtige Hitze einstellen Um eine Wafer in wenigen Sekunden zu trocknen, braucht man eine starke Heizleistung. Wir passen die Leistung und Spannung der Glühdrähte an, damit sie für die jeweilige Chemie konzipiert sind. Doch hier liegt das Problem: Hochleistungslampen werden an den Enden extrem heiß. Wenn man die Kühlsysteme nicht richtig einstellt, können die Lampen beschädigt werden. Es handelt sich dabei um ein Gleichgewichtsproblem. Mit den Komponenten umgehen Wir haben diese Lampen so konstruiert, dass sie schnell ausgetauscht werden können. Stillstand ist fatal – daher haben wir den Austausch so einfach wie möglich gemacht. Egal ob man R7- oder SK-Anschlüsse verwendet – die Passform ist perfekt. Das ist wichtig, denn jede Bewegung kann zu Oxidation an den Kontaktpunkten führen. Achten Sie außerdem auf die Betriebszeit der Lampen. Wenn die Strombelastung abnimmt, sollten Sie die Lampe austauschen. Es ist besser, dies nach eigenem Zeitplan zu tun, anstatt mit einer defekten Lampe und einem Vakuumleck in der Trockenkammer zu kämpfen.