Erreichen einer vollständigen Kontaminationsfreiheit bei der Trocknung von MEMS Wafern mithilfe von IR Lampen aus hochreinem Quarz

Wie man einen Saal der Klasse 100 tatsächlich sauber hält Wenn man MEMS-Sensorwafern trocknet, kennt man das Problem: Ein einziger Staubkorn auf der...