Comment maintenir votre salle propres à 100 % Si vous séchez des wafer de capteurs MEMS, vous connaissez bien le problème : une seule particule de poussière sur un wafer signifie que tout est perdu. C’est frustrant. Le problème, c’est que la plupart des éléments chauffants standards génèrent des particules microscopiques justement là où on ne veut pas qu’elles se trouvent. Nous avons résolu ce problème en passant à des lampes infrarouges en quartz synthétique de haute pureté. Elles ne libèrent aucune particule et empêchent toute fuite de matières métalliques. Ainsi, votre ligne de production reste propre et fonctionnelle. Pourquoi le quartz est essentiel Nous utilisons un type spécifique de verre en quartz afin que la source de chaleur ne perturbe pas la surface du wafer. Le verre standard ne peut pas supporter cette chaleur : il se brise ou libère des composés organiques volatils gênants. Le quartz, lui, résiste sans problème aux chocs thermiques. De plus, les rayons infrarouges pénètrent directement à travers la couche liquide sur le wafer et l’évaporent. Aucun contact physique n’est nécessaire. C’est le seul moyen de préserver l’intégrité des structures délicates des MEMS. Obtenir la chaleur optimale Pour sécher un wafer en quelques secondes, il faut une puissance suffisante. Nous ajustons donc la puissance du filament et la tension électrique pour obtenir les résultats souhaités. Mais attention : les tubes à haute puissance deviennent extrêmement chauds aux extrémités. Si vous ne contrôlez pas correctement le système de refroidissement, les connecteurs peuvent se briser ou le quartz se déformer sous la pression. Il s’agit donc d’un équilibre précis à trouver. Gérer ces équipements Nous avons conçu ces lampes pour qu’elles puissent être remplacées rapidement. Tout arrêt de fonctionnement est problématique, donc nous avons rendu ce processus simple. Que vous utilisiez des connecteurs R7 ou SK, l’adaptation est parfaite. C’est important, car toute faiblesse dans l’adaptation entraîne de l’oxydation aux points de contact. Veillez également au cycle de fonctionnement des lampes. Si vous les utilisez à 100 %, le filament s’amincit avec le temps. Je recommande de surveiller le courant consommé. Lorsque le courant commence à baisser, remplacez la lampe. C’est beaucoup mieux de le faire selon vos propres horaires, plutôt que de devoir faire face à une lampe endommagée et à des fuites de vide dans la chambre de séchage.