अपने क्लास-100 क्लीनरूम को हमेशा साफ रखना यदि आप MEMS सेंसर वेफरों को सुखा रहे हैं, तो आपको पता ही होगा कि एक छोटा सा धूल का कण भी वेफर पर गिरने से...

Back on the line, एक गीला MEMS वेफर सफाई से बाहर आता है और इंतजार करता है। अगला चरण—फोटोरहद परत, सॉफ्ट बेक, और एक साफ़ सूखा—थर्मल ड्रिफ्ट के लिए कोई...