अपने क्लास-100 क्लीनरूम को हमेशा साफ रखना
यदि आप MEMS सेंसर वेफरों को सुखा रहे हैं, तो आपको पता ही होगा कि एक छोटा सा धूल का कण भी वेफर पर गिरने से पूरा वेफर बेकार हो जाता है। यह बहुत ही परेशान करने वाली बात है। समस्या यह है कि अधिकांश सामान्य हीटिंग तत्व वास्तव में “कण उत्पन्न करने वाले उपकरण” ही हैं। ऐसे उपकरणों से सूक्ष्म कण निकलते रहते हैं, जो आपको बिल्कुल भी नहीं चाहिए। हमने इस समस्या का समाधान उच्च-शुद्धता वाले सिंथेटिक क्वार्ट्ज IR लैंपों का उपयोग करके किया। ऐसे लैंपों से कोई कण नहीं निकलता, और वे आपकी उत्पादन प्रक्रिया को ठीक वैसे ही बनाए रखते हैं, जैसा कि आवश्यक है।
क्वार्ट्ज क्यों महत्वपूर्ण है?
हम विशेष प्रकार के क्वार्ट्ज का उपयोग करते हैं; ताकि ऊष्मा स्रोत वेफर की सतह को नुकसान न पहुँचाए। सामान्य काँच ऐसी ऊष्मा को सहन नहीं कर पाता – वह टूट जाता है, या गर्म होने पर वह वोलेटाइल ऑर्गेनिक कंपाउंड्स उत्पन्न करता है। हमारा क्वार्ट्ज ऐसी ऊष्मा को आसानी से सहन कर लेता है। इसके अलावा, IR विकिरण वेफर पर मौजूद तरल पदार्थ को सीधे ही वाष्पित कर देता है। कोई स्पर्श नहीं… कोई घर्षण नहीं… कोई भौतिक संपर्क नहीं। यही एकमात्र तरीका है, जिससे उन नाजुक MEMS संरचनाओं को सुरक्षित रखा जा सकता है।
सही ऊष्मा स्तर प्राप्त करना
वेफर को कुछ ही सेकंड में सुखाने हेतु, आपको अधिक ऊष्मा की आवश्यकता है। हम फिलामेंट की शक्ति एवं वोल्टेज को ऐसे ही समायोजित करते हैं, ताकि वेफर को सही तरीके से सुखाया जा सके। लेकिन समस्या यह है कि उच्च-शक्ति वाले लैंपों के छोर बहुत गर्म हो जाते हैं। यदि आप कूलिंग प्रणाली को ठीक से समायोजित नहीं करते, तो लैंप टूट सकता है, या क्वार्ट्ज भी नष्ट हो सकता है। यह एक संतुलन बनाने का काम है।
ऐसे उपकरणों का उपयोग करना
हमने ऐसे लैंपों को ऐसे ही डिज़ाइन किया है कि उन्हें आसानी से बदला जा सके। बंद रहने का समय बहुत ही नुकसानदायक है; इसलिए हमने इस प्रक्रिया को आसान बना दिया है। चाहे आप R7s या SK कनेक्टरों का उपयोग कर रहे हों, उनका फिटिंग बहुत ही अच्छा होता है। यह महत्वपूर्ण है, क्योंकि कोई भी ढीलापन संपर्क बिंदुओं पर ऑक्सीकरण का कारण बन सकता है। अपने ड्यूटी साइकिल पर ध्यान दें। यदि आप लैंप को 100% क्षमता से चला रहे हैं, तो फिलामेंट समय के साथ पतला हो जाएगा। मैं आमतौर पर लोगों को सलाह देता हूँ कि वे करंट लेवल पर नज़र रखें। जब करंट कम होने लगे, तब ही लैंप को बदल दें। ऐसा करना बेहतर है, बजाय इसके कि आपको जले हुए लैंप एवं वैक्यूम लीक की समस्याओं से जूझना पड़े।