उच्च शुद्धता वाले क्वार्ट्ज आईआर लैंपों का उपयोग करके MEMS वेफरों को सूखाने हेतु शून्य संदूषण वाली हीटिंग प्रणाली का निर्माण।

अपने क्लास-100 क्लीनरूम को हमेशा साफ रखना यदि आप MEMS सेंसर वेफरों को सुखा रहे हैं, तो आपको पता ही होगा कि एक छोटा सा धूल का कण भी वेफर पर गिरने से...