ऊर्जा कुशल वेफर हीटर
वोलैटाइल रसायनों के पास वेफरों को गर्म करते समय चीजों को सुरक्षित रखना ईमानदारी से कहें तो, इन्फ्रारेड लैंपों को ज्वलनशील घोलों एवं विस्फोटक वाष्पों...
एमईएमएस सेंसर वेफर को सुखाने हेतु हीटर
टूटे हुए लैंप के कारण अपना पूरा उत्पादन नष्ट न होने दें: MEMS वेफरों को साफ रखना आवश्यक है। उच्च मात्रा में MEMS उत्पादन करने में, एक ही टूटे हुए...
वेफरों के लिए परिशुद्धता संपन्न आईआर सेंसर
अपनी ऊर्जा को बर्बाद मत करें… सिलिकॉन वेफर को गर्म करने हेतु बहुत अधिक ऊर्जा की आवश्यकता होती है। समस्या यह है कि अधिकांश मानक IR उपकरणों में यह...
वेफर क्यूरिंग लैंप हेतु रिफ्लेक्टर
ऐसी स्थिति में रुक जाएं… जब खराब होने वाली लैंपें आपके वेफरों को नष्ट कर रही हों! जब आप उच्च-लोड में वेफरों का उपचार कर रहे होते हैं, तो लैंप के खराब...
वेफर टूल के लिए तापमान सेंसर
समस्या: वेफर प्रसंस्करण उपकरणों में ऊष्मा का नियंत्रण
आइए, वेफर प्रसंस्करण उपकरणों के बारे में बात करते हैं। इन उपकरणों को तो ऊष्मा की आवश्यकता है,...
वेफर को गर्म करने हेतु सुरक्षा दूरी
लिथोग्राफी प्रक्रिया में, वेफर को गर्म करने के दौरान उसके चारों ओर बने सुरक्षा-दूरी क्षेत्र को “आरामदायक क्षेत्र” नहीं माना जा सकता। यह तो एक कठिन...
निकट इन्फ्रारेड (NIR) वेफर ड्रायर
300 मिमी लाइन पर, फोटोरेजिस्ट को सुखाने की प्रक्रिया केवल एक सामान्य तापीय प्रक्रिया ही नहीं है; बल्कि यह तो आकार-संबंधी नियंत्रण हेतु आवश्यक है। यदि...