ドライフィルムレジスト積層ヒーター

リソグラフィーの工程において、ラミネーション用ヒーターは単に熱を供給するだけではありません。それは、フォトレジスト全体の温度管理を担っているのです。ソフトベイク時に0.5℃の温度変動があれば、粘度やエッジビード、そして重要な寸法制御に影響が出ます。基板全体で±0.1℃以内の均一性が求められる場合、...