なぜ私たちは、ファブ内で従来の対流式加熱から赤外線加熱に切り替えているのか？ 通常の対流式オーブンの仕組みを考えてみてください。まず空気を加熱し、その空気がウェハーを温めるのです。これは非常に遅いプロセスです。温度が上がるのを待つ間、時間が無駄になってしまいます。半導体工場では、このような待ち時間...

赤外線を用いてバイオセンサーを正しく製造するには バイオセンサーを作る際、硬化処理の段階は非常に微妙な調整が必要です。化学層を安定させるためには十分な熱が必要ですが、過度に熱を加えると基材が損傷してしまいます。 そのため、私たちは赤外線ランプを使用します。温風を使う方法では、ほこりや汚染物質がクリ...

バイオセンサーの加熱を適切に行うために バイオセンサーを製造する場合、硬化や乾燥の処理を正確に行う必要があります。しかし正直なところ、従来の対流式オーブンは使いづらいものです。処理に時間がかかり、周囲のすべてのものが同時に加熱されてしまいます。 そのため、私たちは赤外線方式を採用しています。部屋全...

なぜ無鉛バイオセンサーには赤外線を利用するのか バイオセンサーの製造は非常に微妙な作業です。扱うのは、過度な負荷に耐えられない有機層ですから、適切な熱処理や硬化処理が不可欠です。 私たちは、大きな対流式オーブンを使わなくなりました。なぜでしょうか？小さな部分を硬化させるために全体の空気を加熱するの...

熱の無駄遣いを止めよう：より効率的なバイオセンサーの作成方法 ウエハーベースのバイオセンサーを扱ったことがある人なら、適切な温度管理がいかに難しいかを知っているでしょう。一般的なIRランプは、エネルギーの大部分を無駄にしてしまいます。そのエネルギーの大部分は後方に漏れ出てしまい、ウエハーには全く役...

バイオセンサーを清潔に保つために：なぜIR加熱が重要なのか クラス100のクリーンルームで作業したことがある人なら、その厳しさを知っているはずです。わずかなほこりや微細な粒子でさえも、センサーの表面を台無しにしてしまいます。本当に厄介です。実際、ほとんどの一般的な加熱要素がこの問題の原因です。それ...

機械自体を加熱するのではなく、センサーを加熱しましょう。 バイオセンサーを作るには、適切な温度制御が必要です。しかし、一般的な赤外線ランプでは、熱があらゆる方向に放出されてしまい、360度ものエネルギーが無駄になってしまいます。 その結果、半導体デバイスの内壁が巨大な放熱装置のようになってしまいま...

なぜバイオセンサーやチップの製造に赤外線硬化技術が使われるのか バイオセンサーを作るときは、熱という要素をうまく操る必要があります。接着剤や各層を適切に硬化させる必要がある一方で、過度に熱を加えると生物学的な部分がダメになってしまいます。つまり、非常に微妙なバランスが求められるのです。 そのため、...

装置をオーブンのように使わないでください バイオセンサーを製造する際には、大量の熱が必要ですが、その熱は基板上の特定の場所にだけ集中させる必要があります。 問題は、一般的なIRランプはエネルギーをあちこちに放出してしまうことです。360度方向に光が放射されるのです。これは明らかにエネルギーの無駄遣...

粉塵によってCNTが台無しになるのを防ぎましょう もし、何時間もかけてカーボンナノチューブを育成しているのに、ほんのわずかな粉塵が原因で全てが台無しになった経験があるなら、そのイライラ感はご存知でしょう。本当に腹立たしいですよね。クラス100のクリーンルームであっても、ヒーター自体が問題の原因にな...

ぜひ、高性能な装置をオーブンのようなものにしてしまわないでください。 一般的な加熱素子は、熱をあらゆる方向に放出してしまいます。狭い半導体製造装置の中では、これは大きな問題です。 その「無駄な熱」は単純に消えてなくなるわけではありません。内壁に吸収され、装置の外殻が非常に高温になり、作業員が火傷す...

化学的な洗浄処理の際にIRランプを安全に保つ方法 もしあなたがバイオセンサーを製造しているのであれば、化学的な洗浄処理の段階で正確なIR加熱が必要だということはご存知でしょう。しかし、問題はここです。可燃性や爆発性のある蒸気が存在する環境では、通常のIRランプはまるで時限爆弾のようなものです。石英...

水素センサーを作るには、極度の精度が求められます。もし加熱の位置が適切でなければ、化学的な沈着がうまく行わず、センサー全体が使い物にならなくなってしまいます。私たちは、そのような厳しい要件に対応できるヒーターを開発していますが、正直なところ、加熱自体は比較的簡単な部分です。本当に難しいのは、電気的...