混乱を防ぐ：UHPランプにおける粒子汚染の対処法 高負荷な半導体製造環境では、ランプが破損すると、単なるトラブルや短時間の停止にとどまらず、大惨事につながります。 石英管が壊れると、装置は動かなくなるだけでなく、ウェーハの表面にガラスの破片や微粒子が飛び散ります。その結果、生産効率が著しく低下し、...

クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つ方法 MEMSセンサーワエハを乾燥させる際、ご存知の通り、わずかなほこりの粒がワエハに付着するだけで、そのワエハは使えなくなってしまいます。本当に厄介です。 問題は、一般的な加熱要素は実際には微粒子を発生させる装置だということです。それらの微粒子が...