混乱を防ぐ：UHPランプにおける粒子汚染の対処法 高負荷な半導体製造環境では、ランプが破損すると、単なるトラブルや短時間の停止にとどまらず、大惨事につながります。 石英管が壊れると、装置は動かなくなるだけでなく、ウェーハの表面にガラスの破片や微粒子が飛び散ります。その結果、生産効率が著しく低下し、...

炎上する赤外線ランプによる被害を防ぐ方法 半導体製造工場において、赤外線ランプが炎上するのは単なる技術的なトラブルではありません。それは大惨事です。 石英管が過度な負荷に耐えられずに破損すると、単に動かなくなるだけでなく、砕け散ってしまいます。その結果、破片や微細な粒子がウェーハに直接降り注ぎます...