バイオセンサー製造用赤外線ランプ
装置をオーブンのように使わないでください バイオセンサーを製造する際には、大量の熱が必要ですが、その熱は基板上の特定の場所にだけ集中させる必要があります。
問題は、一般的なIRランプはエネルギーをあちこちに放出してしまうことです。360度方向に光が放射されるのです。これは明らかにエネルギーの無駄遣...
UHP 超純度 ヒーターランプ
揮発性化学物質を加熱する際に、安全を確保する方法
正直に言って、高出力の赤外線ヒーターを可燃性溶剤のそばに置くのは、とても危険な行為です。わずかな火花や漏れた蒸気だけで、大きな問題が発生してしまいます。だからこそ、私たちは単なるUHPヒーターランプを作るだけでなく、それらが周囲の混乱から隔離される...
洗浄用防水赤外線ランプ
半導体の洗浄工程における「ホットウォール」問題の解決策
半導体のウェットプロセスに携わったことがある人なら、その苦労はよく理解しているでしょう。洗浄処理中にウェーハを加熱する必要がありますが、装置の外殻がオーブンのようになってしまうのは避けたいものです。
従来の放射型ヒーターは、基本的に電球のよう...
ファブレーションランプ用クォーツガラスシールド
なぜクォーツシールドがファブ内の照明にとって重要なのか
ウェハー処理に赤外線加熱ランプを使用している場合、その作業は迅速かつ正確に行われる必要があります。そうするために、すべてが混乱に陥らないように、ランプの前にクォーツガラス製のシールドを設置します。
これは単にランプを清潔に保つためだけではあり...
赤外線ランプ用アルミニウム反射板
アルミニウム反射板を使って、より多くの効果を得る方法
正直に言えば、半導体の乾燥や硬化処理にエネルギーを無駄にするのは、単なるお金の無駄です。ほとんどの場合、赤外線は機械の筐体内に漏れてしまい、何の役にも立ちません。だからこそ、アルミニウム反射板が使われるのです。この反射板は、余分な熱を捉えて再び...
認定済み赤外線硬化ランプ製造元
悪夢を止める：IRランプが故障したときにウエハーを清潔に保つ方法 半導体製造工場において、ランプが故障するというのは、単なる面倒事や短時間の停止にとどまらない。それは大惨事だ。
重負荷の下で石英管が破裂する様子を想像してみてください。ガラスの破片やタングステンフィラメントがウエハーの上に降り注ぎま...
バイオセンサー製造用赤外線ランプ
化学的な洗浄処理の際にIRランプを安全に保つ方法
もしあなたがバイオセンサーを製造しているのであれば、化学的な洗浄処理の段階で正確なIR加熱が必要だということはご存知でしょう。しかし、問題はここです。可燃性や爆発性のある蒸気が存在する環境では、通常のIRランプはまるで時限爆弾のようなものです。石英...
炭素繊維赤外線ランプ工場
粉塵を防ぐ：真に汚染ゼロの加熱を実現する方法 クラス100のクリーンルームを運営している場合、その悩みはよくわかるでしょう。ヒーターから少しでも粉が飛び散っただけでも、それは単なる「不具合」ではなく、完全な失敗です。一般的な抵抗式ヒーターは、時間が経つにつれてガスを放出したり、表面が剥がれたりして...
クリーンルーム用ベンチ用赤外線ランプ
もう、ベンチトップ型の加熱装置に頼るのはやめましょう。半導体の製造においては、スピードが全てです。もし依然として熱風を使って部品を加熱しているのであれば、それはまさに行き詰まり状態です。
熱風の仕組みを考えてみてください。まず空気を加熱し、その空気が部品を温めるのを待つわけです。これは中間者がいる...
ツインチューブ型ゴールドコーティングランプ
ウェーハ処理におけるランプの破損という悪夢を止めるために
高負荷な半導体製造現場で働いたことがある人なら、その感覚をご存知でしょう。ランプが突然爆発する音です。それは単なる部品の故障ではなく、完全な悲劇です。
石英管が破裂すると、ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハの上に降り注ぎます。...
半導体用金コーティング赤外線ランプ
なぜ、無鉛半導体のために金コーティングされた赤外線ランプを使用するのか？ 正直に言って、従来の対流式オーブンはあまり効率的ではありません。エネルギーの多くが空気や機械の壁を温めるために使われ、そのうちごく一部しか製品に届きません。非効率的で、正直、時代遅れです。 そのため、私たちは金コーティングさ...
ウェーハ硬化ランプ用反射板
疲労したランプがウェーハを破壊するのを防ごう
高負荷でウェーハの硬化処理を行っているとき、ランプが壊れるというのは、単なる面倒ごとや短時間の停止にとどまりません。それは本当に悪夢です。
もしクォーツチューブが破裂すれば、ガラスの破片やハロゲンの沈着物が直接シリコン上に降り注ぎます。一度破損すれば、...
オゾンフリー赤外線ランプ
リソグラフィーフロアでは、ソフトベイクの温度が半度変動するだけで、製品の寸法にナノメートル単位の誤差が生じます。これは単なる熱の影響ではなく、正確な制御が求められるのです。
一般的なランプはオゾンを発生させるため、その残留物がフォトレジストの密着性を悪化させ、粒子数も不正確になります。私たちはオゾ...
深紫外線 DUV レジスト焼成ランプ
リソグラフィーの工程では、すぐに習得できます。わずかなバックアップやハードバックアップの誤差だけでも、予期せぬ品質低下を引き起こします。半度程度の誤差でも、重要な寸法が目標値から外れてしまいます。また、粒子の増加によって、良質なウェーハが瞬く間に廃棄物になってしまうこともあります。DUVレジストの...
RTPシステム用ハロゲンランプ
ファブフロアでの課題 ラピッドサーマルプロセッシング（RTP）における熱ドリフトは熱予算を圧迫し、フォトレジストのプロファイルが崩れ始める。ウェーハレベルの均一性は単なる理論上の指標ではなく、利益の出る生産と廃棄の境界線である。
実際に重要なポイント RTP用には、短波長出力と石英エンクロージャを...
DNS スクリーン ウェーハドライヤーランプ
リソグラフィーの現場では、ソフトベークまたはハードベークで1℃のドリフトは「小さなエラー」ではありません。それは単純に歩留まりへの影響です。ウェハがエッジビード、ライン幅のばらつき、または完全にクリアされない溶剤を伴ってトラックを離れるのを目の当たりにします—後で欠陥として現れる残留物です。必要な...