なぜクォーツシールドがファブ内の照明にとって重要なのか
ウェハー処理に赤外線加熱ランプを使用している場合、その作業は迅速かつ正確に行われる必要があります。そうするために、すべてが混乱に陥らないように、ランプの前にクォーツガラス製のシールドを設置します。
これは単にランプを清潔に保つためだけではありません。実際には、熱をどう扱うかが重要です。特に、省エネルギー目標を達成し、無駄な電力消費を避けたい場合にはなおさらです。
熱の問題
材料に関して言えば、高純度の熔融石英を使用します。これにより、短波長の赤外線がそのまま通過できます。もし安価なガラスを使った場合、シールド自体が熱を吸収してしまいます。これは大変危険です。ガラスが歪んで割れてしまい、問題が発生します。純粋なクォーツを使用すれば、熱が必要な場所、つまりウェハーに正確に届きます。自分の装置と戦わなくて済むので、高出力を使う必要がなく、電気代も抑えられます。
ランプを汚れから守る
ファブは厳しい環境です。化学物質や粒子が至る所に飛び交っています。これらがランプに当たると、「ホットスポット」が生じます。こうした場所はランプを早く破壊してしまいます。クォーツシールドを使うことで、ランプを守ることができます。そうすれば、数週間ごとにランプを交換する必要がなくなり、ゴミも減り、予算も節約できます。
注意点
クォーツは優れていますが、脆いので注意が必要です。取り付け方には細心の注意が必要です。クランプを強く締めすぎると、急激な温度変化の際にシールドが割れてしまいます。十分な余裕を持たせてあげる必要があります。また、フィラメントと対象物の間にガラス層があるため、わずかに出力が低下します。そのため、補うために少し高出力のランプが必要になるかもしれません。これを踏まえておけば、なぜ温度が少し異なるのか不思議に思うことはありません。