わずかな異常でも、全体の製品が台無しになってしまうことがあります。半導体製造工場で照明や加熱装置を更新する際、そのリスクはよく理解されているはずです。ほんのわずかな電気漏れがあっただけで、ワークウェーハ全体が廃棄処分となってしまいます。 だからこそ、私たちは「ランダムサンプリング」を行いません。数...

もうオーブンを待つのはやめましょう。なぜ赤外線加熱が最適なのか 半導体の高度な加工を行っている人なら、「待つ」ということの苦労をよく知っているでしょう。 私たちの多くは、強制対流式の加熱方式に慣れています。空気を加熱し、その空気が基板を温めるのを待つわけです。これは非常に時間がかかります。また、こ...

もう、ベンチトップ型の加熱装置に頼るのはやめましょう。半導体の製造においては、スピードが全てです。もし依然として熱風を使って部品を加熱しているのであれば、それはまさに行き詰まり状態です。 熱風の仕組みを考えてみてください。まず空気を加熱し、その空気が部品を温めるのを待つわけです。これは中間者がいる...

揮発性化学物質を使って清掃する際に、安全を守る方法 正直に言うと、可燃性の溶剤が満ちたクリーンルームを加熱するのは非常に危険です。単純に通常の赤外線ランプを使えばいいというわけではありません。爆発性の蒸気に囲まれている状態では、ちょっとした火花や過度に高温になった表面だけで、作業が大惨事に変わって...

フォトレジストの焼成時に0.5度程度のずれが生じるだけで、製品の寸法が規格範囲を外してしまいます。ウェーハの乾燥速度が遅いと、処理時間が長引き、表面汚染のリスクも高まります。そのため、プロセスのばらつきをなくすために、クリーンルーム用のトロリーキャビネットにヒーターを搭載しています。 設計上のポイ...

グローバルグレードの赤外線ヒーター構築：小型室用ソリューションの技術的背景 10年──それがOEM製造からグローバル市場の最前線へ進むまでに費やした時間だ。そして率直に言えば、すべては一つの目標に集約された。国際的な品質基準を満たす赤外線ヒーターを製造すること、妥協なしで。 エンジニアや施設管理者...