ぜひ、高性能な装置をオーブンのようなものにしてしまわないでください。
一般的な加熱素子は、熱をあらゆる方向に放出してしまいます。狭い半導体製造装置の中では、これは大きな問題です。
その「無駄な熱」は単純に消えてなくなるわけではありません。内壁に吸収され、装置の外殻が非常に高温になり、作業員が火傷する危険があります。また、近くにある精密な電子機器にも悪影響を与えます。これは本当に面倒な問題です。
熱を適切な場所に送る
私たちは、短波赤外線ランプと巧妙な反射板を使ってこの問題を解決します。
エネルギーを装置全体に散らばらせる代わりに、それを集中したビームにして、必要な場所、つまりウェーハや基板の上に正確に当てます。そうすれば、装置の他の部分には影響がありません。
これは単純な考え方の変更です。部屋全体を温めるのではなく、必要な部分だけを温めるのです。
なぜこれが重要なのか
熱の方向を制御することで、内壁は冷たいままです。目的の場所だけに熱が集中し、外側の部分は安全に触れられます。
最良な点は、重い断熱材や大型の冷却ファンを使わなくて済むことです。ファンは騒音を立て、微粒子を舞い上げます。これらを使わなければ、環境がずっと清潔になります。
注意点と対処法
ただし、方向性のある赤外線も完璧なわけではありません。速くて精度も高いですが、取り付け位置が少しでもずれると、目的の場所に熱が当たらず、装置の壁に穴が開いてしまう可能性があります。取り付け時には細心の注意が必要です。取り付けブラケットはしっかりしている必要があり、キャリブレーションも正確でなければなりません。
私たちは、これらを標準的な加熱器の代替品として作りました。つまり、装置全体を分解する必要はありません。より安全で、より涼しい装置が手に入ります。
お願いですが、電源が赤外線アレイの消費電力に対応できるかどうかを必ず確認してください。電力が不足していると、装置が早期に故障する原因になります。