デジタル赤外線乾燥機コントローラー
シャードの発生を防ぐ：ウェーハをきれいに保ち、ドライヤーを安全に保つ 大量生産中に赤外線ランプが破損してしまったことがある人なら、それがどれほど厄介なことかわかるでしょう。一瞬前まではすべて正常だったのに、次の瞬間には石英の破片や金属製のフィラメントがウェーハの上に降り注ぎます。 これは完全な災害...
近赤外線 NIR ウェーハ乾燥装置
300mmラインにおいて、フォトレジストのベイク処理は単なる加熱工程ではありません。それは、製品の寸法精度を保証するための重要な工程なのです。もしソフトベイクやハードベイクの温度が±0.1℃からわずかにでも外れてしまうと、製品の寸法精度が崩れてしまいます。従来のホットプレート式装置ではウェーハの端...
DNS スクリーン ウェーハドライヤーランプ
リソグラフィーの現場では、ソフトベークまたはハードベークで1℃のドリフトは「小さなエラー」ではありません。それは単純に歩留まりへの影響です。ウェハがエッジビード、ライン幅のばらつき、または完全にクリアされない溶剤を伴ってトラックを離れるのを目の当たりにします—後で欠陥として現れる残留物です。必要な...