なぜ半導体ヒーターの絶縁性能を厳しくチェックするのか？ 私たちは、工場から出荷されるすべてのヒーターチューブをテストします。一つ残らずです。 半導体の世界では、「もしかすると」ということは許されません。わずかな隙間や絶縁材の摩耗だけでも、装置の故障を引き起こすだけでなく、最悪の場合は装置が破壊され...

粉塵や水が赤外線ランプを壊すのを防ぎましょう 正直言って、一般的な赤外線ランプはとても繊細です。もし、汚れの多い工業環境で使用すると、湿気やほんの少しの粉塵だけで、本来よりも早くランプが壊れてしまいます。わずかな水分が内部に入っただけで何度も部品を交換しなければならないのは本当に面倒です。 だから...

リソグラフィーの工程では、ウエハーを加熱する際の安全距離というのは、単なる「快適な範囲」などではありません。それは厳格な制御が必要な領域です。距離が近すぎると、熱的な干渉やレジストの形状歪み、粒子の移動が起こります。一方、距離が遠すぎると、十分な加熱効果が得られず、CDの均一性が規格から外れてしま...