粉塵を防ぐ：真に汚染ゼロの加熱を実現する方法
クラス100のクリーンルームを運営している場合、その悩みはよくわかるでしょう。ヒーターから少しでも粉が飛び散っただけでも、それは単なる「不具合」ではなく、完全な失敗です。一般的な抵抗式ヒーターは、時間が経つにつれてガスを放出したり、表面が剥がれたりして問題を引き起こします。
私たちは、高純度の石英で覆われた炭素繊維製のヒーターに切り替えることで、そうした問題を解決しました。
なぜ炭素繊維なのか？
金属製のフィラメントは酸化したり、破壊されたりして、微粒子を放出してしまいます。しかし、私たちの炭素繊維製のフィラメントは、合成石英管内の超高真空環境に閉じ込められているため、不純物が外部に漏れ出ることはありません。また、反応速度も速く、「数秒で目標温度に到達」します。
詳細が重要
ほとんどの汚染は、ランプの中央部分ではなく、シール部分から発生します。私たちは、ランプ内部から何も漏れ出さないように、特別なガラスと金属のシールを使用しています。さらに、石英の表面も磨き上げます。なぜかというと、微小な凹みはほこりの吸着源になるからです。滑らかな表面なら、ほこりが隠れる場所はありません。
ハードウェアについてのアドバイス
取り付け用のブラケットにも注意が必要です。簡単に思えますが、安価な鋼鉄製のクリップを使うと、腐食や剥離が起こります。真に無菌状態を保ちたいのであれば、ステンレス鋼やPTFEコーティングされたホルダーを使用しましょう。
設置時の注意点
これらのランプは非常に強力な熱を放出します。それは良いことですが、電源の管理には注意が必要です。電圧が5％でも変動すれば、フィラメントが壊れてしまいます。非常に敏感です。
配線について
通常のPVCケーブルは使わないでください。それらはガスを放出します。代わりにFEPやPTFE製のケーブルを使用しましょう。また、空気の流れにも注意が必要です。冷却が不十分だと、石英管から放散される熱で近くのプラスチック製の部品が変形してしまいます。空気をしっかり循環させれば問題ありません。