疲労したランプがウェーハを破壊するのを防ごう
高負荷でウェーハの硬化処理を行っているとき、ランプが壊れるというのは、単なる面倒ごとや短時間の停止にとどまりません。それは本当に悪夢です。
もしクォーツチューブが破裂すれば、ガラスの破片やハロゲンの沈着物が直接シリコン上に降り注ぎます。一度破損すれば、そのロット全体が無駄になってしまいます。これは即座の汚染事故です。
私たちは、そうしたことが起こらないような方法を考案しました。つまり、反射器の中に物理的な遮蔽壁を設けたのです。
遮蔽壁の仕組み
反射器は、高純度のアルミニウムや金のコーティングを使って赤外線をウェーハに向けて反射させるという、ごく一般的な役割を果たします。しかし、それ以上に重要な機能もあります。
ランプをこの反射腔の中に収めることで、バリアができます。チューブが故障しても、筐体が破片を受け止めてくれます。そうすれば、ガラスの破片が製品を破壊することはなく、被害をコントロールできます。これはずっと良い方法です。
熱対策
このランプをフル稼働させると、大量の熱が発生します。私たちは反射器の形状を調整し、そのエネルギーを正確にウェーハの表面に向けて送るようにしました。これにより、チャンバ内で無駄になる熱が減り、硬化処理の時間も短縮されます。
ただし、焦点が狭くなると、チューブの端に過剰な負荷がかかります。そのため、冷却ファンが十分に強力であって、ソケットから熱を効果的に取り除けるようにしなければなりません。そうでなければ、再び早期にランプが壊れてしまいます。
導入方法
これらは、既存の装置に直接装着できるように作られています。安全な遮蔽壁を追加するために、装置全体を分解する必要はありません。反射器はフレームに簡単に固定できるので、余分なスペースを取りません。チューブが壊れた場合は、ランプを交換し、反射器を簡単に拭いて再び作業を続けるだけです。これにより、「全てが台無しになる」という悲劇的な事態を、単なる定期的なメンテナンス作業に変えることができます。