MEMSウエハ乾燥ヒーター

ラインに戻ると、ウェットMEMSウエハが洗浄から出てきて待機しています。次の工程であるフォトレジスト塗布、ソフトベイク、クリーンドライは、熱的ドリフトに対してゼロトレランスです。1℃のホットスポットが表面に当たると、ライン幅制御は運任せになります。このMEMSウエハ乾燥ヒーターは、リソグラフィスタ...