半導体ヒーター用熱電対

熱を適切な場所に送る 半導体製造においてウェーハを加熱する際、単に出力を上げるだけでは不十分です。誰でも電力をかけることはできますが、重要なのはそのエネルギーを適切な方向に送ることです。 もし赤外線エネルギーが装置の他の部分に漏れてしまうと、電力を無駄にしてしまい、本来冷たく保たれるべき部品が過熱...