クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つ方法 MEMSセンサーワエハを乾燥させる際、ご存知の通り、わずかなほこりの粒がワエハに付着するだけで、そのワエハは使えなくなってしまいます。本当に厄介です。 問題は、一般的な加熱要素は実際には微粒子を発生させる装置だということです。それらの微粒子が、本来いない場所に放出されてしまいます。私たちは、高純度の合成石英製のIRランプに切り替えることでこの問題を解決しました。このランプは微粒子を発生させず、金属片も漏れ出さないため、生産ラインを常に適切な状態に保つことができます。
石英が重要な理由
私たちは、熱源がワエハの表面を傷つけないように、特別な種類の石英を使用しています。 普通のガラスでは、高温になると割れたり、有害な有機化合物が放出されたりします。しかし、私たちの石英は、熱衝撃に耐えられます。さらに、IR放射線はワエハ上の液体膜を直接透過して蒸発させます。 触れることも、こすることもありません。これが、繊細なMEMS構造を壊さずに保持する唯一の方法です。
適切な熱量の設定
ワエハを数秒で乾燥させるには、十分な熱量が必要です。 私たちは、特定の化学的性質に合わせて、フィラメントのワット数や電圧を調整します。しかし、高ワット数のランプは端が非常に高温になります。冷却システムを正しく調整しなければ、ランプや石英が壊れてしまいます。これはバランスを取る必要がある作業です。
ランプの交換
私たちは、このランプを素早く交換できるように設計しました。停電は致命的なので、交換プロセスを簡単にしました。 R7やSKコネクタを使用しても、しっかりと固定されます。これは重要です。なぜなら、隙間があると接点で酸化が起こってしまうからです。 また、稼働時間にも注意が必要です。100%の負荷で運用すると、時間が経つにつれてフィラメントが薄くなってしまいます。私は、電流値をチェックするように勧めています。電流値が下がり始めたら、ランプを交換しましょう。自分の都合の良いタイミングで交換する方が、ランプが壊れたり、乾燥室に真空漏れが発生したりするのを防げます。